持續改善製程專案服務
我們的工程團隊在Fab端累積了豐富的專業經驗和知識，協助解決客戶PM問題，並根據客戶需求設計輔助治具，通過持續改善方案(CIP) 降低潛在風險、節省人力成本，並提高預防性維護流程的效率。
客戶案例
Handheld Fork
問題：當機台出現異常，robot無法正常運作
解決方案：使用手持式fork，從loadlock接取及搬運wafer到foup端存放
效益：避免裸手拿取，汙染wafer的潔淨度
Contactless Loadlock Height Measuring Gauge
效益：
- 檢測 blade ⾼度，避免 wafer 傳送時造成刮片
- 光學感應取代傳統接觸式距離量測
Sensor Positioning Device
問題：改善傳統是以目視做robot校正定位
解決方案：以sensor校正後的固定位置，當作校正基準點，以檢測robot位置是否偏移
效益：sensor可儲存檢測數據，作為量化分析
RF(Radio frequency) 遮罩
問題：接收器容易受到發射電磁波設備的干擾，導致指令錯誤
解決方案：
使用坡莫合金高效屏蔽磁場，隔離電磁波
效益：顯著減少電子訊號干擾
Hood Connected Curtain Accry
問題：防止PM時，腔體內殘存氣體逸散
解決方案：
- 利用遮罩，減少PM人員吸入殘存氣體
- 限制氣體逸散並同時使用CV管抽離殘氣
Shower Head Purge Gauge
問題：如何增加Shower Head潔淨度
解決方案：
- 利用氮氣進行pump和vent的循環作業
- 吹除shower head氣孔殘留的particles，以達到作業的潔淨需求