高效能工程塑膠零件

適用應用包括：

• 氧化層蝕刻腔體密封件
• 氧化層蝕刻升降針
• 腔體內部用螺絲及構件
• 聚焦環（Focus Rings）
• 晶圓夾具（Wafer Clamps）
• 濺鍍腔體密封件
• 濺鍍腔體夾具與相關零件

材料特性重點：

• 高純度
• 可耐 CF₄、F、O₂、Ar 等離子體環境
• 可耐高溫至 800°F（約 427°C）
• 壓縮強度高達 57,000 psi
• 低氣體釋出（Low Outgassing）
• 熱膨脹係數（CTE）為 2.3 × 10⁻⁵ /°C
• 優異的抗磨耗性

添加PTFE鐵氟龍和石墨

• 耐磨性好，磨差係數低
• 用於耐磨要求極高的場合，例如無油潤滑軸承、密封、軸承隔。

聚醯胺醯亞胺(Polyamide-imide)

• 是TORLON PAI中韌性和衝擊強度最佳的一種。
• 因其固有的耐高溫、尺寸穩定性和良好的機械加工性能，良好的電絕緣性。

聚醯胺醯亞胺(Polyamide-imide)，添加30%玻璃纖維

• 填充30%的玻璃纖維增強，剛性更好、強度大及抗蠕變性好
• 高溫下長時間支撐固定負荷工作，而且在250℃表現出極佳的尺寸穩定性

中文名為過氟烷基乙烯基醚，是一種高性能氟塑料，可長時間在 -200°C 至 260°C 範圍內穩定工作，並具有高熔點，約為 305°C。

• 耐腐蝕性：能夠承受所有的強酸、強鹼、強氧化劑、還原劑和大多數有機溶劑的腐蝕，僅在氟化物、高濃度鹼金屬溶液中受到微量腐蝕。
• 絕緣性：具有極低的介電損耗，且電阻率高達 10¹⁸ 歐姆·厘米，使其成為高頻應用中的理想材料。
• 自潤滑性：擁有低摩擦係數，適合在無油潤滑或需要減少摩擦損耗的應用中使用。

PCTFE，中文名為聚三氟氯乙烯，有以下特性和優點：

• 優異的化學穩定性：PCTFE 對大多數化學品具有惰性，耐腐蝕性良好，僅次於PTFE (聚四氟乙烯)。
• 低溫性能出色：PCTFE 在低溫環境下，如液態氮、液態氧等，仍能保持優異的機械性能，因此廣泛應用於低溫設備和儲運系統。
• 良好的氣體阻隔性：PCTFE 的氣體透過率極低，是所有透明塑料中最低的之一，具有出色的氣體阻隔性能。
• 高硬度和強度：PCTFE 具有優異的機械強度和硬度，並且尺寸穩定性良好。